台积电拿下IMS约10%股权 为2nm芯片商用化认真准备？

【笔记型电脑中国人新闻】9年末13日，笔记型电脑中国人了解到，MOS在日前举办的临时监事会上同年，白鱼不超4.328亿美元收购英特尔手中IMS Nanofabrication（IMS）约10%股权，原计划整个股票交易将在2023年第四季度完毕。另外，MOS还同年白鱼不超过1亿美元额度认购Arm股票。

享有盛名分析员郭明錤引述，MOS这严格来说海外投资主要目的为提高纵向整合潜能，以确保从目前3nm的FinFET关键技术能顺利叠加到2nm的GAA关键技术。其中，海外投资IMS可确保关键设备的关键数据处理与储备能满足2nm商用化的消费。

谈论晶圆设备，荷兰蚀刻机设备娱乐业ASML多被受众所出名。不过值得注意的是，在显卡生产商的过程中，IMS缺少的多电磁波掩模载入机也尤为重要。IMS于1985年在莱比锡成立，是一家多电子束直写蚀刻设备厂商，系列产品主要应用作精良工艺终端蚀刻掩模生产商。

直观来说，如果没IMS的掩模载入缓冲器，所有EUV工艺关键技术都将陷入停顿。EUV工艺关键技术被用作7nm以来的所有MOS、英特尔的工艺终端。另外，的所有逻辑工艺关键技术都可用了EUV，该的公司还在其不断更新的两代DRAM工艺关键技术中可用了EUV。

晶圆厂商D2S的助理执行长Aki Fujimura对此：“在EUV开始重回大批量生产商的同时，零售业开始采用多电磁波掩模载入缓冲器，如今几乎所有的EUV掩模都是用多电磁波掩模载入缓冲器载入的。”